X荧光光谱仪技术作为一种快速分析方法，为相关部门检测、筛选和控制有害元素含量提供了一种可行、低成本、有效的方法。与其他分析方法相比，它具有不需要对样品进行特殊的化学处理、快速、方便、测量成本低等显著优点。

　　特别适用于过程控制、检测等各相关部门。X射线荧光光谱仪昂贵的部件是高压X射线管，它是仪器的核心部件。X射线管对冷却水的温度、压力和电导率有严格的要求。X射线管的冷却水温度不应超过30℃。如果温度超过35℃，使用寿命将大大缩短。
　　内循环水用于冷却靶附近的灯管头，因此要求内循环水应为低电导率的去离子水，以防止高压击穿对X射线管造成损坏。光谱晶体是一种能根据波长序列将X射线荧光分离成光谱的晶体。
　　影响光谱晶体稳定性的因素有温度、湿度、pH值等，一般用波高分布曲线的半宽高来衡量探测器的性能。当半宽高度增加时，分辨率降低，探测器质量下降。真空系统是X射线荧光光谱仪的重要组成部分。对于真空泵，应定期检查真空泵油的质量和数量。如果在检查油质时有白油或黑油，说明油质不正常，应立即更换泵油。